水蒸氣蒸餾是分離、提取樣品中有效成分的重要方法之，其操作是將水蒸氣通入樣品體系中，有效成分伴隨水蒸氣蒸出，從而達到分離提純有效成分的目的，被廣泛應用于煙草、食品、藥品、化工等多個行業。
現有的傳統的水蒸氣蒸餾裝置是較為的繁瑣的玻璃裝置，安裝困難、操作時間長、耗能量大，且存在不安全隱患等技術問題。
氟化物廣泛存在于自然水體中，有色冶金、鋼鐵和鋁加工、焦炭、玻璃、陶瓷、電子、電鍍、化肥、農藥廠的廢水及含氟曠物的廢水中常常都存在氟化物，通常采用預蒸餾的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸氣，以氟硅酸或氫氟酸形式而被蒸出。