潔凈氣源各部份說明：
使用要求
為了確保制氮機碳分子篩的使用壽命最長，以達到運行指針，用于氣體分離工藝的空氣須經壓縮和凈化。含有灰塵、水蒸氣和碳氫化合物等雜質的環境空氣經過噴油潤滑螺桿壓縮機壓縮，再通過冷干機和多級過濾器除去雜質，可獲得具有呼吸質量的潔凈空氣。
系統簡述
壓縮空氣供給凈化主要是為制氮系統提供潔凈的壓縮空氣。首先由空氣壓縮機提供壓縮空氣，在進入儲罐穩壓后，通過主管路過濾器，過濾大部分液態水和顆粒較大的粉塵雜質，然后進入冷凍干燥機，強制冷卻壓縮空氣，使壓縮空氣中的飽和水冷凝并排出，最后經過空氣管路過濾器、超高效除油過濾器和活性碳過濾器，得到潔凈的壓縮空氣。主要包括：空氣壓縮機、儲罐、冷凍干燥機、三級精密過濾器。
A、空氣壓縮機：
選用螺桿式空壓機，該機具有壓縮效率高，運行成本低廉，噪音低，振動小 ，配置有計算機智能型等特點。（建議配制）
B、空氣儲罐：
保持供給氣體的壓力穩定；降低壓縮空氣的溫度；除去壓縮空氣中液態水和油。
C、壓縮空氣處理系統
冷凍干燥機： 利用制冷原理強制冷卻壓縮空氣，使壓縮空氣中的水蒸氣在低溫下過飽和，冷凝結露，分離壓縮空氣中的水分，使壓縮空氣的壓力露點降到2-10℃。
主管路過濾器 ： 去除或分離壓縮空氣中大量液體
除油精度 1ppm
除塵精度 1um
空氣管路過濾器 ： 去除或分離壓縮空氣中懸浮態的油霧
除油精度 0.01ppm
除塵精度 0.01um
微油精過濾器 ： 去除或分離壓縮空氣中懸浮態的油霧
除油精度 0.01ppm
高效活性炭過濾器 ： 進一步去除油霧。